Появление первого серийного заказчика означает переход проекта Зеленоградского нанотехнологического центра (ЗНТЦ) из стадии опытной разработки в промышленную эксплуатацию. Установка создавалась с 2021 года совместно с белорусским предприятием «Планар» при координации со стороны Минпромторга. В сентябре 2025 года ЗНТЦ объявил о завершении разработки и начале перехода к серийному производству, а «Отраслевые решения» группы «Элемент» заключили договор на поставку первой машины. Теперь стало известно, что первой серийной установкой будет оснащен «Маппер», а машина для «Отраслевых решений» станет следующей.
«Прогресс СТП-350» относится к классу установок совмещения и проекционного экспонирования: фотолитограф переносит изображение фотошаблона на кремниевую пластину, после чего процесс повторяется для формирования структуры микросхемы. Машина рассчитана на пластины диаметром до 200 мм и имеет рабочее поле 22×22 мм. Заявленная производительность составляет до 63 пластин диаметром 150 мм или до 43 пластин диаметром 200 мм в час. В качестве источника света используется твердотельный лазер вместо традиционной ртутной лампы. Рабочая длина волны указывается на уровне 365 нм, а разрешение установки — 350 нм.
Технологическая норма 350 нм сегодня находится далеко от передовых мировых производственных процессов: крупнейшие производители полупроводников уже освоили массовый выпуск значительно более миниатюрных компонентов, уйдя вперед на 2 порядка. Однако для целого ряда изделий переход на более тонкие нормы не является обязательным.
350-нм технологии используются в силовой и автомобильной электронике, промышленных системах и других устройствах, где важнее доступность производства, надежность и возможность изготавливать специализированную элементную базу, чем максимальная плотность транзисторов. Именно на такие сегменты российские разработчики рассчитывают при внедрении отечественного оборудования.
Первым получателем установки станет «Маппер» — расположенная в Технополисе «Москва» МЭМС-фабрика, специализирующаяся на выпуске чувствительных элементов на кремниевых пластинах. Предприятие располагает около 1,5 тыс. кв. м чистых помещений, более чем 30 единицами оборудования и мощностью до 5 тыс. пластин в год. Сейчас оно участвует вместе с «Астроном» в проекте по серийному производству инфракрасных матриц для беспилотников и тепловизоров. К 2028 году в рамках этого направления в России планируется выпускать около 11,5 тыс. инфракрасных детекторов в год.
Стоимость российской установки при этом остается одной из наиболее обсуждаемых характеристик проекта. В конце 2025 года коммерческое предложение на «Прогресс СТП-350» составляло около 392 млн руб. без НДС с учетом доставки, монтажа и обучения персонала. Расширенный вариант с сервисным обслуживанием и дополнительной пятилетней гарантией оценивался в 561 млн руб. Эксперты отмечают, что такая цена на десятки процентов ниже зарубежных установок сопоставимого класса. Другие участники российского рынка называли ее сопоставимой с иностранными аналогами. При этом руководитель «Троичных технологий» Александр Тимошенко указывал, что с точки зрения мирового рынка цена выглядит высокой относительно технических характеристик, но с точки зрения импортозамещения и формирования собственной компетенции в фотолитографии может быть оправданной.
Отдельный вопрос — степень локализации машины. ЗНТЦ официально называет разработку отечественной и говорит о создании линейки российских литографов, однако установка 350 нм была создана в партнерстве с белорусским «Планаром». В отраслевых публикациях обращалось внимание на то, что «Планар» имеет собственные разработки оборудования этого класса, в том числе установку ЭМ-5884 на 350 нм. Поэтому корректнее говорить не о полностью локализованной с нуля российской машине, а о российско-белорусской разработке, в которой ЗНТЦ отвечает за технологический процесс и значительную часть инженерной составляющей. Сам ЗНТЦ при этом рассматривает 350-нм проект как первый этап перехода к более глубокой локализации.
Следующим этапом должна стать установка на 130 нм. В августе 2026 года ЗНТЦ завершил очередной этап опытно-конструкторских работ по этому литографу. Для него используется эксимерный лазер с длиной волны 193 нм — источник, применяемый в мировой DUV-литографии.
Опытный образец рассчитан на пластины диаметром до 200 мм; работы по проекту обошлись примерно в 5,7 млрд руб. При этом речь пока идет именно об опытной машине: перед серийным выпуском ей предстоит пройти серию испытаний и отработку базовых технологических процессов. В ЗНТЦ рассчитывают начать заключение контрактов на серийные поставки 130-нм установок в 2027 году.
Таким образом, 350-нм литограф закрывает критически важную задачу — создание собственной производственной базы для зрелых технологических процессов, оборудование для которых после введения западных санкций стало существенно сложнее закупать и обслуживать. Если поставка «Мапперу» состоится в заявленные сроки, Россия получит не очередной опытный образец, а первый серийный продукт собственной литографической программы.
