Кремниевые пластины — на слэнге специалистов полупроводниковые подложки или «вафли» — представляют собой полупроводниковые диски, предназначенные для производства микропроцессоров. Как правило, пластины выполняются из сверхчистого монокристалла кремния. Сами монокристаллы выращиваются методом Чохральского с последующей очисткой методом зонной плавки. Затем монокристалл разрезается на тонкие пластины, которые проходят механическую шлифовку и полировку до оптической чистоты поверхности. Завершают подготовку поверхности химическим стравливанием тонкого слоя для удаления микротрещин и дефектов поверхности, оставшихся после механической полировки.

Далее в большинстве технологических процессов на одну из поверхностей пластины наносят эпитаксиальным методом тонкий слой сверхчистого кремния со строго заданной концентрацией легирующей примеси. Именно в этом слое в последующих операциях формируют с помощью разных методов структуры полупроводников.

Описанный процесс — не самая сложная работа для передовых компаний, но она не может обойтись без крупных вложений. Например, машины для создания кремниевых пластин могут стоить до $200 млн за экземпляр. Необходимость значительных инвестиции в подобное производство долгие годы отталкивала американских вендоров от крупномасштабного производства «вафель», но в ближайшее время в США появится игрок, который готов взять значительную часть расходов на себя. Американский завод GlobalWafers будет выпускать 300-миллиметровые «вафли» — одну из самых востребованных вариаций пластин на современном рынке.

В перспективе предприятие GlobalWafers должно будет выйти на ежемесячное производство 1,2 млн кремниевых пластин. Этого будет достаточно, чтобы покрыть весь американский спрос.

В компании заявили, что инвестиции в размере $5 млрд будет реализованы поэтапно на основе фактического спроса со стороны клиентов. Среди потенциальных покупателей пластин GlobalWafers выступают Intel, GlobalFoundries и многие другие компании, которые планируют организовать производство микросхем в США в ближайшие годы. Строительство предприятия начнется в конце этого года, а на момент запуска завод создаст 1,5 тыс. новых рабочих мест, пишет Reuters.

Часть расходов на строительство новой фабрики может быть покрыто за счет государственных субсидий. В настоящее время в Конгрессе США продолжается обсуждение так называемого «Закона о чипах». В его рамках правительство планирует выделить $52 млрд на поддержку проектов по строительству новых полупроводниковых предприятий в стране для расширения местного производства микросхем. Часть этих средств может пойти на строительство предприятия GlobalWafers.

С анонсом нового проекта GlobalWafers присоединилась к длинному списку компаний, которые хотят закрепиться в технологическом секторе США. В прошлом году Taiwan Semiconductor Manufacturing Co. (TSMC) начала строить комплекс стоимостью $12 млрд в Аризоне, а Samsung Electronics заявила, что вскоре создаст предприятие за $17 млрд в Техасе. Компания Intel, в свою очередь, намерена построить сразу четыре новых завода по производству микросхем, общая стоимость которых превысит $40 млрд.