Hitech logo

Кейсы

Китайская SMEE создала литографический сканер для выпуска 28-нм чипов

TODO:
Екатерина Шемякинская21 декабря 2023 г., 09:46

Китайская компания Shanghai Micro Electronics Equipment Group (SMEE) анонсировала свой первый литографический сканер, работающий по технологическому процессу 28 нм. До сих пор лучшим показателем для китайского оборудования был техпроцесс 90 нм. Это важное достижение, которое помогает Китаю сократить технологический разрыв в мировой индустрии микросхем. Литография SMEE все еще уступает в своих возможностях лидеру рынка, компании ASML, но рывок впечатляющий. Также пока не ясно, когда SMEE сможет выпускать такое оборудование в больших объемах.

Самые интересные технологические и научные новости выходят в нашем телеграм-канале Хайтек+. Подпишитесь, чтобы быть в курсе.

Сканер SSA/800-10W — крупный прорыв для компании, поскольку существующие машины серии SSA600 поддерживают технологические процессы 90, 110 и 280 нм. Новость о новом литографическом сканере впервые была опубликована в сообщении WeChat, в результате чего акции SMEE выросли на 8%. Но затем компания удалила все упоминания о 28-нм инструменте. При этом ранее SMEE сообщала, что к концу года представит инструмент для литографии с поддержкой 28 нм.

TSMC производит чипы по своему 28-нм техпроцессу с 2011 года, тогда как китайская SMIC внедрила аналогичную технологию в 2015 году. Однако и SMIC, и TSMC использовали литографические инструменты нидерландской ASML для изготовления этих чипов.

Последние правила экспорта, установленные правительством США, не позволяют китайским производителям микросхем приобретать необходимое оборудование и технологии для производства современных непланарных транзисторных логических микросхем по техпроцессам менее 14/16 нм, микросхем 3D NAND с более чем 127 активными слоями и микросхем DRAM с полушагом менее 18 нм.

В начале этого года вступили в силу дополнительные ограничения, наложенные Нидерландами, Японией и Тайванем, которые еще больше ограничивают доступ китайских компаний к сложным инструментам и технологиям. Эти ограничения мешают стране производить чипы с использованием новейших производственных узлов, в частности 14-нм/12-нм процессов SMIC и 7-нм процессов второго поколения, а также 128- и 232-слойных чипов 3D NAND YMTC.

Между тем, в прошлом году Министерство торговли США включило SMEE в список организаций, подлежащих контролю, пытаясь помешать Китаю развивать полупроводниковую промышленность с помощью собственных инженерных решений.